用于高晶硅、陶瓷、硬質(zhì)合金、玻璃、晶圓片雙面研磨及拋光
主要參數(shù):
1、上下研磨尺寸;(mm) φ 1160*377*50
2、游星輪最大直徑(mm)
3、游星輪參數(shù):齒數(shù)=84 模數(shù)=16
4、游星輪數(shù)量:5片
5、修正輪數(shù)量:3片
6、最小研磨/拋光厚度:0.3mm
7、最大研磨/拋光厚度:25mm
8、下研磨盤轉(zhuǎn)速(rpm):0~50
9、上研磨盤轉(zhuǎn)速(rpm): 0~40
10、上研磨盤上升氣缸缸徑:φ160mm
11、內(nèi)外齒圈抬升行程:0~40mm
12、氣源壓力:0.5~60mpa
13、主電機(jī)功率:11kw 380v 1460rpm
14、設(shè)備外形尺寸:2500*2200*2800mm
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